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干式螺杆真空泵
DS/DVS系列干式螺杆真空泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉
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DS/DVS系列干式螺杆真空泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
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DS/DVS系列干式螺杆真空泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
规格参数
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产品名称干式螺杆真空泵
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产品类别其它
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控温范围
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容积大小
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高温加热
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低温制冷
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可选配件
产品详情
干式螺杆真空泵
用途概述
DS/DVS系列干式螺杆真空泵凭借其创新设计与卓越性能，成为半导体、制药、石化、化工等高要求行业的理想选择。针对复杂真空工艺需求，该系列通过提供清洁无油的真空环境，完美适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含粉尘颗粒气体的抽除场景，助力企业及科研实验实现高效生产与环保目标。其广泛适用于真空钎焊、镀膜、退火、干燥等关键工艺，并在航空航天、电子、冶金、医药等领域推动技术升级，逐步替代传统油封机械泵与液环泵，成为绿色智能制造的核心装备。
产品特点
技术特点
※工作腔内无润滑油，彻底杜绝油气污染，确保真空环境纯净度，显著提升半导体、镀膜等产品良率；
※工艺气体回收利用率高，尾气处理更便捷，助力企业降低环保成本，符合严苛排放标准；
※避免润滑油乳化、变质引发的故障，系统稳定性提升，维护成本降低。
智能操控
※多级螺旋转子设计精准适配腐蚀性气体、可凝性蒸气及含微粒粉尘的复杂气体环境；
※泵腔及转子表面覆盖防腐涂层，耐受强酸、强碱等恶劣介质，使用寿命延长；
※间隙密封结构对微小颗粒不敏感，直通式泵腔设计避免粉尘沉积，保障连续稳定运行。
高效节能
※螺杆啮合传动效率优化，能耗较传统泵有效降低，搭配智能变频配置进一步节能；
※工作温度低，有效较少冷却水的消耗，契合绿色工厂低碳目标；
※运行噪声低，体积紧凑占地少，优化车间空间布局。
灵活组合
※支持单机或多泵组合（如与罗茨泵、分子泵联动）构建无油真空机组，灵活匹配1Pa至大气压的宽压力范围；
※防爆配置版本可安全抽除易燃易爆气体，满足化工、矿山等特殊场景需求（选配）。
差异项目 | 等螺距螺杆真空泵（DS系列） | 变螺距螺杆真空泵（DVS系列） |
结构与原理差异 | 螺杆螺距恒定，转子啮合间隙均匀，螺旋转子的螺距在整个轴向长度上保持一致，气体在泵腔内的压缩过程较为均匀 | 螺杆螺距由进气端至排气端阶梯式递减，螺旋转子的螺距沿着轴向逐渐变化，压缩比动态优化，抽速曲线更陡峭，可快速建立高真空环境； |
性能特点差异 | 抽气速率稳定，在较宽的压力范围内能够保持相对均衡的抽气性能，对一般气体的抽取适应性强 | 由于其独特的变螺距设计，气体压缩更充分，更易达到较高的极限真空度，同时在处理可凝性气体时，能有效避免气体在泵腔内凝结，减少故障发生。 |
适用场景差异 | 适用于真空度要求均衡，处理气体成分相对单一、对真空度要求适中的工况，如食品真空包装、一般的真空输送等场景 | 适合气体成分复杂、瞬时流量变化大的工艺，例如半导体芯片制造中的真空镀膜腔体换气、制药行业的真空干燥，以及石化、化工行业中需要处理可凝性蒸气和高压缩比要求的蒸馏、精馏等工艺。 |
技术参数
产品名称 | 干式螺杆真空泵 | |||||||
型号 | 极限压力 | 抽气速率 | 进气口径 | 排气口径 | 冷却方式 | 功率 | 质量 | |
DS-3 | 50Pa | 10m³/h | ≈3L/s | KF16 | KF16 | 风冷 | 750W | 48kg |
DS-6 | 5Pa | 20m³/h | ≈6L/s | KF25 | KF25 | 风冷 | 1100W | 55kg |
DS-14 | 5Pa | 50m³/h | ≈14L/s | KF40 | KF25 | 风冷 | 1500W | 90kg |
DS-22 | 5Pa | 80m³/h | ≈22L/s | KF40 | KF40 | 风冷 | 2200W | 110kg |
DS-50 | 2Pa | 180m³/h | ≈50L/s | 40mm | 40mm | 2.5L/min | 7500W | 295kg |
DS-69 | 2Pa | 250m³/h | ≈69L/s | 80mm | 80mm | 2.6L/min | 7500W | 350kg |
DS-111 | 2Pa | 400m³/h | ≈111L/s | 100mm | 100mm | 2.8L/min | 15000W | 480kg |
DS-150 | 2Pa | 540m³/h | ≈150L/s | 150mm | 150mm | 3L/min | 18500W | 520kg |
DS-200 | 2Pa | 720m³/h | ≈200L/s | 200mm | 200mm | 4L/min | 22000W | 680kg |
DS-300 | 2Pa | 1080m³/h | ≈300L/s | 250mm | 200mm | 5.5L/min | 30000W | 950kg |
产品名称 | 干式变螺距螺杆真空泵 | |||||||
型号 | 极限压力 | 抽气速率 | 进气口径 | 排气口径 | 冷却方式 | 功率 | 质量 | |
DVS-69 | 2Pa | 250m³/h | ≈69L/s | 65mm | 40mm | 2.5L/min | 7500W | 295kg |
DVS-111 | 2Pa | 400m³/h | ≈111L/s | 80mm | 40mm | 2.6L/min | 7500W | 350kg |
DVS-160 | 2Pa | 576m³/h | ≈160L/s | 100mm | 65mm | 2.8L/min | 15000W | 480kg |
DVS-220 | 2Pa | 792m³/h | ≈220L/s | 150mm | 65mm | 3L/min | 18500W | 520kg |
DVS-330 | 2Pa | 1188m³/h | ≈330L/s | 150mm | 65mm | 4L/min | 30000W | 680kg |
DVS-450 | 2Pa | 1620m³/h | ≈450L/s | 200mm | 80mm | 6L/min | 45000W | 950kg |
DVS-280 | 100Pa | 1008m³/h | ≈280L/s | 150mm | 65mm | 3.2L/min | 22000W | 520kg |
DVS-300 | 100Pa | 1080m³/h | ≈300L/s | 150mm | 65mm | 4L/min | 22000W | 520kg |
DVS-400 | 100Pa | 1440m³/h | ≈400L/s | 150mm | 65mm | 5L/min | 37000W | 680kg |
客户评价
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